什么是雙氧水
雙氧水也 叫過(guò)氧化氫,過(guò)氧化氫是一種重要 的化工 原料,化學(xué)式為 H2 O2。 純過(guò)氧化氫是淡藍(lán)色的黏稠液體 ,可任意比例與水混溶 ,是一種強(qiáng)氧化 劑 ,水溶液俗稱雙氧水 ,為無(wú)色透明液雙氧水的生產(chǎn)方法主要有電 解法 、蒽醌法 、異丙醇法 、氧陰極還原法和氫氧直接化合法等 ,蒽醌法 是生產(chǎn)雙氧水 的主要方法 , 國(guó) 內(nèi) 99%以上 的雙氧水裝置采用該工 藝。
雙氧水的作用
雙氧水根據(jù)濃度及應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為電子級(jí) 、食品級(jí) 、工業(yè)級(jí)等 。 電 子級(jí)雙氧水是生產(chǎn)電子集成電路不可或缺的化學(xué)試劑,在半導(dǎo)體制程前 端硅片清洗和剝離蝕刻完成后的光刻膠。主要用于半導(dǎo)體硅晶片清洗劑, 蝕刻劑和光刻膠去除劑 ,還可用于高級(jí)絕緣層制取 ,電鍍液無(wú)機(jī)雜質(zhì)去 除 , 電子行業(yè)中銅 、銅合金和鎵 、鍺的處理 , 以及太陽(yáng)能硅晶片的蝕刻 和清洗 。 從行業(yè)產(chǎn)量來(lái)看 , 2021 年我 國(guó) 高純 電子級(jí)雙氧水產(chǎn)量 9.44 萬(wàn) 噸 , 同 比增長(zhǎng) 32.0%。
電子級(jí)雙氧水屬于濕電子化學(xué)品 ,技術(shù)壁壘較高 。雙氧水的顆粒管控也 顯 得 尤 為 重 要 。 普 洛 帝 測(cè) 控 專 門 研 發(fā) 了 針 對(duì) 雙 氧 水 的 顆 粒 管 控 設(shè) 備 PMT-2 。在雙氧水生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)得 到廣泛應(yīng)用。